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xLight

用粒子加速器驱动的自由电子激光器打造公用事业级EUV光源,向多台ASML扫描机输送超强极紫外光

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📍 帕洛阿尔托 · 硅谷成立于 2021

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数据快照 2026-10-14
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简介

xLight,2021年成立于美国Palo Alto,用粒子加速器驱动的自由电子激光器打造公用事业级EUV光源,向半导体晶圆厂的多台ASML扫描机输送超强极紫外光,面向先进芯片制造商,解决EUV光源产能受限、晶圆厂吞吐量不足的问题。

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